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硅片超聲波清洗機的各主要組成部分功能特點分享

更新時間:2025-04-17點擊次數:59
  硅片超聲波清洗機利用超聲波清洗技術去除硅片表面的有機物、顆粒、金屬雜質等污染物,工作原理基于空化作用,清洗液中無數氣泡快速形成并迅速內爆,產生的沖擊力將硅片表面的污物剝落。高頻超聲適用于小顆粒污垢的清洗,不會破壞硅片表面。
 
  以下是硅片超聲波清洗機的各主要組成部分功能特點,咱們來一起了解一下吧。
 

 

  1、超聲波發生器
 
  (1)產生高頻電信號:超聲波發生器負責將市電轉換為高頻交流電信號,頻率范圍一般在20kHz至200kHz之間。這些信號隨后傳遞給換能器。
 
  (2)功率調節:通過內置的控制系統,用戶可以根據不同的清洗需求調整輸出功率,以達到良好清洗效果。高精度的功率控制有助于減少對硅片的潛在損傷。
 
  2、換能器
 
  (1)電能到機械振動的轉換:換能器是核心部件之一,它能夠將來自超聲波發生器的高頻電信號轉化為機械振動。
 
  (2)高效能量傳輸:優質的換能器設計可以確保能量高效地傳遞到清洗液中,形成強烈的空化效應,從而有效清除硅片表面的污染物。
 
  3、清洗槽
 
  (1)耐腐蝕材質:通常由不銹鋼或鈦合金制成,具有良好的耐腐蝕性能,適合使用各種化學清洗劑。
 
  (2)溫度控制:部分型號配備了加熱裝置和溫控系統,可以在不同溫度下進行清洗操作,優化清洗效果。適當的溫度可以加速化學反應,提高清洗效率。
 
  (3)排水系統:便捷的排水口設計方便更換清洗液,保持工作環境清潔衛生。
 
  4、清洗液循環過濾系統
 
  (1)持續供應新鮮液體:該系統保證了清洗過程中清洗液的持續供應,并能自動補充消耗掉的部分,維持恒定的液位。
 
  (2)雜質過濾:通過多級過濾器去除清洗液中的懸浮顆粒和其他污染物,防止二次污染硅片表面。
 
  (3)環保處理:某些機型還配備了廢水處理單元,可對用過的清洗液進行初步凈化處理,符合環保排放標準。
 
  5、控制面板
 
  (1)直觀的操作界面:采用觸摸屏或按鈕式界面,提供友好的人機交互體驗。用戶可以通過控制面板設置清洗參數,如時間、溫度、頻率等。
 
  (2)程序預設功能:支持多個預設清洗程序,適用于不同類型的硅片和污染物類型,簡化操作流程,提高工作效率。
 
  6、安全保護裝置
 
  (1)過載保護:出現異常情況時,如電流過大或溫度過高,內置的安全機制會自動切斷電源,避免損壞設備或造成危險。
 
  (2)緊急停止按鈕:在緊急情況下,按下緊急停止按鈕即可立即停止所有運行,保障人員安全。
 
  硅片超聲波清洗機通過上述各個組成部分的協同工作,能夠實現高效、精確的清洗過程,滿足半導體行業的嚴格要求。了解這些組件的功能特點不僅有助于正確選擇合適的清洗設備,也為日常維護提供了指導。

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